太阳能业
太阳能业
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矽晶圆片载出载入系统
化学气相沉积(PEVCD)制程的载出载入系统。 -
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薄膜太阳能玻璃存取系统
可使用在价格低廉的玻璃、塑胶、陶瓷、石墨、金属片等材料当基板制造,除平面外,因具有可挠性也可制成非平面构造,应用范围大。 -
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