产业类别

半导体业

半导体业

半导体产业的电路特性与导电方向性不同于导体、非导体，具备处理信息的功能，同时体积小、效能强。随着晶圆尺寸从8吋到12吋的不断增加，半导体产业的晶圆搬运亦面临着巨大挑战。

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  晶圆自动仓库

  减少劳动力成本，设备可得到更高利用率，还能降低员的劳动力强度，透过自动化仓储将货品输送至精确处，强化整体货品管理效率。

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  无尘室等级仓储 (Stocker)

  1. 高精准度的自动化设备。 2. 具可靠、可预测性的效能。 3. 晶圆传送能够在洁净及受控制的环境中传送。

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  65吨无人搬运车

  1. 无尘等级使用。 2. 可前进/后退/横移/斜行/原地回转。 3. 色带导引。 4. 锂电池自行开发。 5. 透过障碍探测系统在碰撞障碍物前停车。

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  无尘室等级无人搬运车 (Mobile Robot)

  1. 高精准度的自动化设备。 2. 识别能力和定位精度高。 3. 效率最佳化。 4. 夜间无人化作业24小时全天工作。

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  半导体业晶圆移载设备

  1. 高产出。 2. 内建硬体和安全锁。 3. 机器手、Track系统等组件的弹性布置。 4. 完全无尘。

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  晶圆移载设备(EFEM)

  有2 Port, 3 Port及4 Port供不同需求使用。
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  空中走行搬运系统(OHT)

  薄型化、弹性夹爪设计、±180度旋转、5G无线传输技术、照厂内空间设计输送距离及轨道路径。