產業類別

半導體業

半導體業

半導體產業的電路特性與導電方向性不同於導體、非導體，具備處理資訊的功能，同時體積小、效能強。隨著晶圓尺寸從8吋到12吋的不斷增加，半導體產業的晶圓搬運亦面臨著巨大挑戰。

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  晶圓自動倉庫

  減少勞動力成本，設備可得到更高利用率，還能降低員的勞動力強度，透過自動化倉儲將貨品輸送至精確處，強化整體貨品管理效率。

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  無塵室等級倉儲 (Stocker)

  1. 高精準度的自動化設備。 2. 具可靠、可預測性的效能。 3. 晶圓傳送能夠在潔淨及受控制的環境中傳送。

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  65噸無人搬運車

  1. 無塵等級使用。 2. 可前進/後退/橫移/斜行/原地回轉。 3. 色帶導引。 4. 鋰電池自行開發。 5. 透過障礙探測系統在碰撞障礙物前停車。

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  無塵室等級無人搬運車 (Mobile Robot)

  1. 高精準度的自動化設備。 2. 識別能力和定位精度高。 3. 效率最佳化。 4. 夜間無人化作業24小時全天工作。

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  半導體業晶圓移載設備

  1. 高產出。 2. 內建硬體和安全鎖。 3. 機器手、Track系統等組件的彈性佈置。 4. 完全無塵。

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  晶圓移載設備(EFEM)

  有2 Port, 3 Port及4 Port供不同需求使用。
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  空中走行式搬運系統(OHT)

  薄型化、彈性夾爪設計、±180度旋轉、5G無線傳輸技術、照廠內空間設計輸送距離及軌道路徑。