業種

半導体産業

半導体産業

半導体産業における回路特性や導電方向性は、導体や不導体とは異なり、情報を処理する機能を持ちながら、小型で高性能です。ウェーハサイズが 8 インチから 12 インチに継続的に増加するにつれ、半導体業界におけるウェーハの取り扱いも大きな課題に直面しています。

• 

  半導体用自動倉庫

  人件費を削減し、機器はより高い利用率を得ることができますが、商品を正確な場所に輸送する自動倉庫を通じて、従業員の労働集約度も削減し、商品管理の全体的な効率を強化します。

  製品紹介ビデオを見る
• 

  クリーン環境の自動倉庫 (Stocker)

  1.高精度オートメーション機器。 2.信頼できる予測可能なパフォーマンス。 3.ウェーハ搬送はクリーンで管理された環境で搬送できます。

  製品紹介ビデオを見る
• 

  65トン高荷重無人搬送車

  1.ダストフリーグレードを採用。 2.所定の位置で前進/後退/横断/斜め/旋回できます。 3.リボンガイド。 4.自社開発のリチウム電池。 5.障害物検出システムを使用して、障害物と衝突する前に停止します。

  製品紹介ビデオを見る
• 

  クリーンルーム向け無人搬送車 (Mobile Robot)

  1.高精度オートメーション機器。 2.高い認識能力と位置決め精度。 3.効率の最適化。 4.夜間の無人作業は24時間稼働しています。

  製品紹介ビデオを見る
• 

  半導体産業向けウェーハ搬送装置

  1.高出力。 2.内蔵ハードウェアとセキュリティロック。 3.ロボットアームやトラックシステムなどのコンポーネントの柔軟な配置。 4.完全にダストフリー。

  製品紹介ビデオを見る
• 

  ウェーハ搬送装置（EFEM）

  さまざまなニーズに対応する2ポート、3ポート、4ポートがあります。
• 

  空中歩行ハンドリングシステム(OHT)

  薄型・弾力性のあるグリッパー設計、±180度回転、5G無線伝送技術により、工場内のスペースに合わせて搬送距離・軌道を設計します。