半导体整合设备

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广运半导体整合设备服务简介

廣運機械工程股份有限公司是台湾一家拥有超过30年经验的专业半导体整合设备生产制造服务商.我们成立于西元1976年,在自动仓储系统和仓储设备产业领域上,广运提供专业高品质的半导体整合设备制造服务, 广运总是可以达成客户各种品质要求


半导体整合设备

Features
【SMART】是广运于半导体产业的产品定位概念。 SMART 隐含着IOT 物联网的软体架构,将实体设备的底层资讯,有系统、及有效率的收集起来,以作为设备维修保养、最佳生产排程及预测的决策分析。 S 代表生产的直接材料如Si、GaAs、Sapphire、Glass、Sic 等;M 代表间接材料Material如Quarts、Target、Ceramic 等;A 代表Access 存取,如EFEM、Load、Unload,可客制化搭配制程设备,如我们跟台积电合作的3D 量测设备;Room 代表储存,如应用在无尘室外的ASRS自动仓库,以及运用在无尘室内的Stocker 跟E-Rack;T 代表运输,包括Lifter、Conveyor、 OHCV、OHT、RGV、AGV。 藉由SMART 架构的虚实整合,提供智能化及无人化的解决方案。

Function
此规划包含晶圆取放、输送、存放之自动化。 相较于其他产业,晶圆在处理需求上更为严苛。 因应此需求,广运在半导体自动化这块,非常重视晶圆之输送与储存面,特别是在储货环境上,须符合高规无尘需求。

Benefits
此套规划可达到晶圆良率的最大化。 透过基础输送流程的自动化,进一步提升快整体生产与产品控管流程。 ,间接性达成产能最大化。